半導(dǎo)電材料體積電阻率測(cè)試儀
Semi-conducting Material Resistivity Tester
使 用 說 明 書
北京冠測(cè)精電儀器設(shè)備有限公司
感謝您選擇了北京冠測(cè)產(chǎn)品，在您對(duì)北京冠測(cè)高品質(zhì)與高性能的期待中，此儀器在輕巧,親切友好的外觀下成功地融合了新。高技術(shù)及性能可靠之特質(zhì)。請(qǐng)?jiān)旈啽菊f明書以期能充分了解并利用此儀器創(chuàng)造的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
半導(dǎo)電材料體積電阻率測(cè)試儀適于半導(dǎo)電材料如橡膠、塑料等的體積電阻率的測(cè)評(píng)和測(cè)量。
★★制造商保留改進(jìn)產(chǎn)品說明書的權(quán)利，如有修改，恕不另行通告。
★★★制造商保留改進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品的權(quán)利,以便使它們的可靠性,產(chǎn)品性能及設(shè)計(jì)合理性得到進(jìn)一步完善,
我們一直在努力 讓我們做得更好
目 錄
一. 主要技術(shù)性能指標(biāo)及原理結(jié)構(gòu)--------------------3
二. 使用方法--------------------------------------5
三. 注意事項(xiàng)--------------------------------------7
四. 計(jì)算機(jī)軟件版權(quán)--------------------------------7
五. 修理與維護(hù)------------------------------------7
六. 保修業(yè)務(wù) -------------------------------------8
隨機(jī)附件清單
1. 測(cè)試儀主機(jī) 1 臺(tái)
2．測(cè)試架 1 套
3．電源線 1 根
4．測(cè)試線 1 根
5. 保險(xiǎn)管(3A) 3 個(gè)
6. 說明書（內(nèi)有保修卡）1 份
******All data subject to change without notice. Release date:2014
******所有技術(shù)指標(biāo)如有更改，恕不另行通知。
File NO:20160801101
Printed in BEIJING P.R.CHINA
一. 主要技術(shù)性能指標(biāo)及原理結(jié)構(gòu)
<一>.主要技術(shù)性能指標(biāo)
1. 測(cè)量范圍：10-4---106Ω-cm 分辨率 10-6Ω-cm。
2. 輸出：恒流源和恒壓源：
a. 1μA, 10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA。電流誤差：100uA—100mA <0.2% ; 1μA-- 10uA <0.5%
b. 2V。誤差<0.5%
3. 測(cè)試電極：
a.電流電極：電流電極長(zhǎng)度為50mm，與試樣接觸寬度為5mm，兩個(gè)電流電極間的距離為100±1mm。
b.電位電極：電位電極長(zhǎng)度為50mm，接觸半徑R<0.5mm，兩個(gè)電位電極間的距離為20mm±2%。
c.電位電極壓力：沿試樣寬度的壓力為 > 65N/m。
4. 電源：
220±10%,50HZ(60HZ)的交流電。
5. 外形尺寸：
a. 測(cè)試儀外形尺寸(長(zhǎng)X高X深)：350 mm X 200 mm X 380 mm
b. 測(cè)試架外形尺寸(長(zhǎng)X高X深)：160 mm X 200 mm X 100 mm
6．LCD多畫面顯示，人機(jī)交互性強(qiáng)，全觸摸數(shù)據(jù)輸入和數(shù)據(jù)切換顯示。
觸摸屏的屏體部分是一塊與LCD顯示器表面非常配合的多層復(fù)合薄膜，由一層玻璃或有機(jī)玻璃作為基層，表面涂有一層透明的導(dǎo)電層(ITO膜)，上面再蓋有一層外表面硬化處理、光滑防刮的塑料層，它的內(nèi)表面也涂了一層透明導(dǎo)電層，在兩層導(dǎo)電層之間有許多細(xì)小(小于千分之一英寸)的透明隔離點(diǎn)把它們隔開絕緣。觸摸屏作為一種新的電腦技術(shù)，它是目前*、方便的人機(jī)交互輸入設(shè)備，利用這種技術(shù)，我們只要用手指輕輕地指碰顯示屏上的圖符或文字就能實(shí)現(xiàn)操作，從而使人機(jī)交互更為直截了當(dāng)。
7．創(chuàng)新的使用新電容觸摸鍵盤CTS技術(shù)設(shè)計(jì)，有豐富的觸感和聲感，操作簡(jiǎn)單，美觀大方。
8．該儀表試樣試驗(yàn)數(shù)據(jù)能進(jìn)行自動(dòng)運(yùn)算和處理，并符合GB/T3048.3-2007標(biāo)準(zhǔn)。 若使用通訊軟件還可以與微機(jī)連接，實(shí)現(xiàn)微機(jī)化管理(選件)。內(nèi)部電路采用雙微機(jī)處理器，24位高性能AD轉(zhuǎn)換器，智能化程度高，性能*，具有測(cè)量精度高，可靠性好，操作簡(jiǎn)便等諸多特點(diǎn)。
9．儀表采用全面板調(diào)校操作，無(wú)需打開儀表進(jìn)行任何的機(jī)內(nèi)調(diào)整。用戶操作好學(xué)易記。
<二>.. 基本結(jié)構(gòu)
半導(dǎo)電材料體積電阻率測(cè)試儀由隔離穩(wěn)壓源、恒流源、恒壓源、模擬信號(hào)放大、數(shù)據(jù)處理部分、TFT LCD觸摸顯示、電容觸控按鍵板等幾個(gè)部分組成。顯示、設(shè)置、調(diào)節(jié)均在前面板; 輸入輸出口、電源開關(guān)及電源輸入插口均裝置在后面板。
1. 前面板說明
前面板部置圖如下:
(1).LCD顯示部分
顯示內(nèi)容豐富，直接觸摸操作，非常容易和簡(jiǎn)單化。
上電后，顯示儀器名和制造商名的界面，用手指觸摸鍵盤上的任一按鍵，就能進(jìn)入所需要的操作界面進(jìn)行操作，操作非常簡(jiǎn)單。
“通訊”顯示界面：顯示液晶屏進(jìn)入數(shù)據(jù)通訊顯示界面，說明儀器正在與上位機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊。再次按右側(cè)鍵盤上的“通訊”鍵后才退出數(shù)據(jù)通訊模式(此時(shí)顯示液晶屏不顯示數(shù)據(jù)通訊顯示界面，而顯示測(cè)試界面工作模式)。“通訊”功能需硬件配合,為可選件。
“設(shè)置”顯示界面：顯示液晶屏進(jìn)入設(shè)置顯示界面，說明儀器進(jìn)入數(shù)據(jù)設(shè)置模式，只有再次按右側(cè)鍵盤上的“設(shè)置”鍵后才退出數(shù)據(jù)設(shè)置模式(此時(shí)顯示液晶屏不顯示數(shù)據(jù)設(shè)置顯示界面，而顯示測(cè)試界面工作模式)。
設(shè)置參數(shù)數(shù)據(jù)時(shí),直接點(diǎn)擊液晶顯示屏上需要設(shè)置參數(shù)的數(shù)據(jù)框的地方,液晶顯示屏上就會(huì)彈出一個(gè)懸浮鍵盤,點(diǎn)擊數(shù)字,后點(diǎn)擊”OK”鍵后, 懸浮鍵盤消失,所輸入的數(shù)據(jù)顯示在所設(shè)置的數(shù)據(jù)框線上。同樣地再輸入下一個(gè)所要設(shè)置的參數(shù)數(shù)據(jù)。如試樣厚度是2.02cm,點(diǎn)擊試樣厚度數(shù)據(jù)框,在彈出的懸浮鍵盤上輸入2.02,按”OK”鍵后, 懸浮鍵盤消失,所輸入的試樣厚度數(shù)據(jù)顯示在試樣厚度的數(shù)據(jù)框線上。
試樣寬度：試樣的寬度,標(biāo)準(zhǔn)采樣之間的寬度W,單位為厘米(cm)
試樣厚度：試樣的平均厚度t,單位為厘米(cm)
試樣標(biāo)長(zhǎng)：與試樣接觸的兩個(gè)電位電極之間的距離L,單位為厘米(cm)
測(cè)試顯示界面，顯示體積電阻率測(cè)試界面工作模式。
體積電阻率 = 試樣厚度 * 試樣標(biāo)長(zhǎng)兩端間的電阻 / [試樣標(biāo)長(zhǎng) * 試樣寬度]
單位為歐厘米(Ω﹒cm)
測(cè)量后,材料的體積電阻率是根據(jù)上述的計(jì)算公式計(jì)算出來(lái)的,如設(shè)置參數(shù)為0,則體積電阻率值不顯示或顯示“NO-Para?”。如試樣厚度為0,那么顯示界面中體積電阻率的值不顯示或顯示“NO-Para?”。
(2). 電容觸控按鍵板
前面板右側(cè)按鍵板 三個(gè)按鍵，按下每個(gè)按鍵均有相應(yīng)的LCD界面顯示其狀態(tài)。
從左到右為”通訊”、”設(shè)置” 、”手動(dòng)”鍵。
“通訊”按鍵：按此鍵后，進(jìn)入與上位機(jī)的數(shù)據(jù)通訊模式。此時(shí)”通訊”鍵指示燈亮，顯示液晶屏進(jìn)入數(shù)據(jù)通訊顯示界面，只有再次按此鍵后才退出數(shù)據(jù)通訊模式(顯示液晶屏不顯示數(shù)據(jù)通訊顯示界面，而顯示測(cè)試界面工作模式)。此功能需硬件配合,為可選件。
“設(shè)置” 按鍵：按此鍵后，儀器進(jìn)入數(shù)據(jù)設(shè)置模式，此時(shí)”設(shè)置”鍵指示燈亮，顯示液晶屏進(jìn)入數(shù)據(jù)設(shè)置顯示界面，只有再次按此鍵后才退出數(shù)據(jù)設(shè)置模式。
“通訊”按鍵和“設(shè)置” 按鍵互鎖,即只有退出數(shù)據(jù)通訊模式才能進(jìn)入數(shù)據(jù)設(shè)置模式, 退出數(shù)據(jù)設(shè)置模式才能進(jìn)入數(shù)據(jù)通訊模式。
“手動(dòng)” 按鍵：按此鍵后，儀器進(jìn)入測(cè)試模式狀態(tài)，此時(shí)測(cè)試工作模式顯示界面測(cè)量參數(shù)顯示框內(nèi)顯示”Testing!”，表示儀器正在測(cè)試中。測(cè)量完成后，顯示的是測(cè)量值。該測(cè)量值一直顯示,直到下一次按”手動(dòng)”鍵進(jìn)行下一次的測(cè)量。
2. 后面板說明
電源插孔上連帶有保險(xiǎn)管插座, 面板上所有插孔插座與儀器附件電纜是一一對(duì)應(yīng)相聯(lián)的。
風(fēng)扇為儀器散熱所用。
注意：在測(cè)試電纜未與儀器的測(cè)試輸入輸出口相連接或連接不良（此時(shí)接口處發(fā)熱厲害）的情況下開機(jī)儀器可能損壞。
二. 使用與操作
上電后，顯示儀器名和制造商名的界面，用手指觸摸鍵盤上的任一按鍵，就能進(jìn)入所需要的操作界面進(jìn)行操作，操作非常簡(jiǎn)單。
1. 準(zhǔn)備工作：
a. 調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度、濕度：調(diào)節(jié)溫度為23±2℃，相對(duì)濕度為60±5%。
b. 開機(jī)預(yù)熱：將交流220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關(guān)，讓測(cè)試儀預(yù)熱15分鐘。此時(shí)，如果測(cè)試儀沒有正常啟動(dòng)，請(qǐng)按以下步驟進(jìn)行檢查：
①.檢查電源線是否接觸良好；
②.檢查后面板上的電源開關(guān)是否已經(jīng)打開;
③.如經(jīng)檢查無(wú)誤后，測(cè)試儀仍未正常啟動(dòng)，請(qǐng)檢查保險(xiǎn)絲是否已熔斷，如有必要，請(qǐng)更換保險(xiǎn)絲；
④.如經(jīng)上述檢查無(wú)誤后，測(cè)試儀仍未正常啟動(dòng)，請(qǐng)聯(lián)系北京冠測(cè)公司技術(shù)部解決。
c. 試樣厚度測(cè)量：試樣應(yīng)為長(zhǎng)方形，長(zhǎng)度為110mm，寬度為50mm，厚度為2mm或4mm。用測(cè)厚儀測(cè)沿試樣長(zhǎng)度大致等距離測(cè)量六個(gè)位置的厚度，計(jì)算取其平均值。每個(gè)點(diǎn)的測(cè)量值與平均值之差應(yīng)不超過±5%。
注：試樣可用刀片或沖模裁切，但要盡量使試樣變形減少到低程度，因?yàn)樽冃螘?huì)影響電阻值。
d. 放置試樣：提起測(cè)試架上部活動(dòng)部分，然后撐起支撐柱，將支撐柱卡在卡槽里，防止測(cè)試架的活動(dòng)部分落下。打開試片盒，將試片放入試片盒內(nèi)，蓋上盒蓋。放下測(cè)試架上部活動(dòng)部分，使試片與電極接觸。
注：放置試片時(shí)要保持平坦，不能有任何部分在長(zhǎng)方形槽之外
e. 聯(lián)機(jī)測(cè)試架：將紅色橡膠頭線的插頭插入紅色電流插孔內(nèi)，黑色橡膠頭線插入黑色的電壓插孔內(nèi)，然后將測(cè)試儀上引出的橡膠頭線分別與測(cè)試架上引出的接線端子連接。
2. 測(cè)試：
a. 測(cè)試儀正常啟動(dòng)，預(yù)熱完成后，按測(cè)試儀前面板上的工作模式按鍵，蜂鳴器響一聲，進(jìn)入按鍵所指示的工作模式。其它時(shí)間，測(cè)試儀一直自動(dòng)地處于測(cè)量狀態(tài)。
b.試樣材料厚度設(shè)定：按前面板右側(cè)按鍵板上的設(shè)置鍵，設(shè)置鍵指示燈亮，液晶屏進(jìn)入數(shù)據(jù)設(shè)置界面，直接點(diǎn)擊厚度值框，此時(shí)LCD上會(huì)彈出一個(gè)數(shù)字鍵盤，在上面輸入材料的厚度值，為兩位整數(shù)，兩位小數(shù)，單位為厘米，數(shù)值輸完，按ENTER鍵，此時(shí)厚度值框即顯示所輸入的厚度值。
試樣材料寬度和標(biāo)長(zhǎng)的設(shè)定與厚度設(shè)定類似，全部輸入后按鍵盤上的設(shè)置鍵，設(shè)置鍵燈滅，液晶屏的數(shù)據(jù)設(shè)置界面回到測(cè)試界面，進(jìn)入測(cè)試狀態(tài)。
c.電壓、電流量程根據(jù)材料的特性儀器會(huì)自動(dòng)選擇。
注：當(dāng)電流量程選擇不合適，測(cè)量數(shù)據(jù)超出量程時(shí)，測(cè)試儀試樣電阻值框處顯示為OVERRANGE，提示超量程。
表2–1半導(dǎo)電材料電阻率測(cè)量推薦的電流量程
 
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
100 mA | 10-3∽10-2 | 10-2∽10-1 | 10-1∽2 |
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10 mA |
| 10-1∽2 | 1∽20 | 10∽200 | ||||||||||||||||
1 mA |
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| 10∽200 | 100∽2K | ||||||||||||||||
100μA |
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| 1K∽20K | ||||||||||||||||
10μA |
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| 10K∽200K | ||||||||||||||||
1μA |
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| 100K∽2M |
注： 在電流量程選擇不當(dāng)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)電流供給不足，造成測(cè)量錯(cuò)誤的現(xiàn)象，所以在測(cè)試一個(gè)未知的材料時(shí)，可以先選用小電流測(cè)試，然后逐漸加大電流，以得到更的測(cè)量。
d、測(cè)試儀為手動(dòng)測(cè)量方式， 每按一次”手動(dòng)”鍵，儀器即進(jìn)入測(cè)試模式狀態(tài)，此時(shí)測(cè)試工作模式顯示界面測(cè)量參數(shù)顯示框內(nèi)顯示”Testing!”，表示儀器正在測(cè)試中。測(cè)量完成后，顯示的是測(cè)量值。
e、測(cè)量：
接好測(cè)試試樣后，每按一次”手動(dòng)”鍵，測(cè)試工作模式顯示界面測(cè)量參數(shù)顯示框內(nèi)顯示”Testing!”，測(cè)量完成后，顯示的是測(cè)量值,測(cè)試結(jié)果顯示在LCD上。
試樣的參數(shù)缺省值如下：寬度5cm(50mm) 標(biāo)長(zhǎng)11cm(110mm) 厚度0.2cm(2mm)
如果輸入試樣材料寬度或標(biāo)長(zhǎng)或厚度中的任何一個(gè)值有一個(gè)為0，LCD的體積電阻率值框處將顯示“NO-PARA”（沒有參數(shù)）
三. 注意事項(xiàng)
1.電源插座的連接必須符合標(biāo)準(zhǔn), 電壓不符合工作條件時(shí), 應(yīng)使之滿足工作條件, 否則不能使用。
2.在測(cè)試電纜未與后面板接口相連接或連接不良的情況下不可開機(jī)。否則, 儀器有損壞的可能。
3.由于觸摸顯示屏(LCD)和電容觸摸按鍵安裝方式不同、操作者的手感力度強(qiáng)弱不同、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境溫濕度的變化、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境污染的程度、操作者的靜電影響(如冬天等干燥季節(jié))都可能或多或少對(duì)操作觸摸顯示屏有些影響，因此需認(rèn)真細(xì)致操作，不可用力過大(畢竟是在一塊玻璃上操作)，否則容易損傷觸摸顯示屏(LCD)。
4.使用場(chǎng)地應(yīng)注意通風(fēng)散熱; 儀器上禁止堆放物品, 不得重壓儀器, 不得把東西掉入儀器內(nèi)。
5.儀器運(yùn)送、儲(chǔ)存或使用時(shí), 均應(yīng)防震、防潮、防灰。
6.機(jī)內(nèi)高壓危險(xiǎn), 不得無(wú)故打開機(jī)蓋, 如發(fā)生故障, 請(qǐng)與制造商聯(lián)系。
?。。。。。。。【荆?em>WARNING）?。。。。。。?！
制造商和銷售商不承擔(dān)由于不按該說明書操作而違規(guī)操作所引起的任何責(zé)任
四. 計(jì)算機(jī)軟件版權(quán)
本說明書描述的產(chǎn)品，包括了儲(chǔ)存在半導(dǎo)體存儲(chǔ)器或其它媒介上的具有版權(quán)的北京冠測(cè)計(jì)算機(jī)程序。多國(guó)的法律為北京冠測(cè)保留了對(duì)版權(quán)所有的計(jì)算機(jī)程序的某些*的權(quán)力。包括以任何形式對(duì)版權(quán)所有的計(jì)算機(jī)程序的復(fù)制與拷貝的權(quán)力。因而，本說明書描述的北京冠測(cè)產(chǎn)品中所包含的任何有版權(quán)的北京冠測(cè)計(jì)算機(jī)程序，若沒有北京冠測(cè)公司的書面的批準(zhǔn)書，不能以任何形式拷貝或復(fù)制。進(jìn)而，對(duì)北京冠測(cè)產(chǎn)品購(gòu)買的本身，并不表示，無(wú)論是直接地，或隱含地，或以違禁形式或其它形式，取得了在版權(quán)或申請(qǐng)方面的任何許可證。除了那些一般的，非專有的和無(wú)版權(quán)費(fèi)用的許可證之外。
五. 修理與維護(hù)
如果您能夠正確地使用本儀器，本機(jī)能于不需維修服務(wù)的情況下使用多年?？墒钱?dāng)您需要時(shí)，北京冠測(cè)服務(wù)中心遍布全國(guó)各地，受過專業(yè)訓(xùn)練的技術(shù)人員，方便的維修地點(diǎn)與設(shè)施能夠?yàn)槟峁┫鄳?yīng)的服務(wù)。有關(guān)詳情，請(qǐng)聯(lián)絡(luò)您的供應(yīng)商。
